Описание промышленного дифрактометра D8 FABLINE
Дифрактометр для контроля качества в полупроводниковой промышленности
Дифрактометр D8 FABLINE специально разработан для контроля качества полупроводниковых пластин в полупроводниковой промышленности. Оснащенный сенсорным экраном вместе с удобным и гибким программным обеспечением, D8 FABLINE позволяет быстро и качественно решать задачи контроля качества в полупроводниковой промышленности.
- • Исследование пластин размером от 6“ до 300 мм
- • Горизонтальный прободержатель обеспечивает высокое быстродействие системы и исключает повреждение образца
- • Интерфейс SECS/GEM позволяет интегрировать D8 FABLINE в систему управления технологическим процессом
- • Автоматическое распознавание образов дает возможность проведения точных микроанализов
- • D8 FABLINE может быть оснащен одиночным или сдвоенным встроенным FOUP-интерфейсом для загрузки пластин
- • Сенсорный экран делает работу с системой более удобной
Технические характеристики
Тип | промышленный |
Исполнение | напольный |
Детектор | линейный |
Мощность генератора | 3 кВт |
Применение | структурный и фазовый анализ материалов электронной техники |